激光干涉仪测量精度

SJ6000激光干涉仪的静态测量软件可以将线性测量结果生成的误差补偿表，该表涵盖了各个测量点的补偿值，运动控制系统制造商允许通过修改运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。

如数控机床在装配完成后，其定位精度一般是达不到出厂标准要求的，单纯靠提高零件加工精度，或者提高装配质量来保证机床精度，将增加制造成本，而使用数控系统的“螺距误差补偿"功能，对数控机床的误差进行补偿，是一种即有效又经济的方法，SJ6000激光干涉仪可以精确的进行误差测量和补偿。

产品功能

1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

3.可实现对机床回转轴的测量与校准；

4.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

5.具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

6.支持手动或自动进行环境补偿。

性能特点

1.集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；

2.采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；

3.采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；

4.采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；

5.采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

SJ6000激光干涉仪采用双频氦氖激光器作为光源。其精度高，抗扰力强，空气湍流、热波动等影响甚微，因此降低了对环境条件的要求，使它不仅能用于实验室，还可在车间条件下测量大距离用。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、较高测速下分辨率高等优点。